氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測(cè)儀器，它利用了帶電粒子在磁場(chǎng)中偏轉(zhuǎn)的原理來(lái)識(shí)別不同原子量的氣體。其工作過(guò)程如下：首先將待測(cè)容器充入惰性氣體（主要是氮?dú)猓?，然后將管路接通真空泵進(jìn)行抽空處理；接著打開(kāi)進(jìn)樣閥使被探測(cè)的氣體進(jìn)入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發(fā)而產(chǎn)生正負(fù)電子流；之后由穩(wěn)壓電源供給高壓于陰板和陽(yáng)板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導(dǎo)電回路閉合電路；通過(guò)測(cè)量出電流強(qiáng)度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測(cè)儀器，主要用于探測(cè)微量的泄漏物質(zhì)。其工作原理是利用高壓電離室產(chǎn)生的高壓離子束轟擊惰性氣體（如He）分子，使它們解離并釋放出正、負(fù)粒子或電子，形成原子簇模型——由大量的單核和雙核對(duì)許多具有一定能量的自由玻爾態(tài)的束縛粒子和游離電子組成的微觀體系結(jié)構(gòu)；這些帶有一定能量的狀態(tài)在一定的空間范圍內(nèi)存在著庫(kù)侖場(chǎng)分布不均勻而受到激發(fā)時(shí)就會(huì)發(fā)射特征X射線作為示蹤信號(hào)源來(lái)檢查工件上的氣密性和確定缺陷的位置及大小。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和定位泄漏點(diǎn)的高精度檢測(cè)系統(tǒng)。它通過(guò)利用氦氣在不同濃度下的特征響應(yīng)來(lái)檢測(cè)泄漏，具有靈敏度高、檢測(cè)范圍廣、定位精度高等優(yōu)點(diǎn)。其主要功能包括：檢測(cè)泄漏氣體的存在、識(shí)別泄漏、定位泄漏位置、監(jiān)測(cè)泄漏量等。
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